1.真空腔室:Φ350×H400mm;
2.真空极限:≤5.0×10-5Pa;
3.漏率:≤0.8Pa/h;
4.基片台尺寸:Φ100mm范围内可装卡各种规格基片;
真空指标:极限真空优于6.6×10-5Pa(设备空载抽真空24小时);
设备保压:停泵12小时候后,真空≤10Pa;
抽速:空载从大气抽至8.0×10-4Pa≤45min;
真空极限:≤8.0×10-5Pa;
设备保压:停泵12小时候后,设备真空度≤10Pa;可镀基片尺寸/面积:Φ100mm范围内可装卡各种规格基片;
抽速:从大气抽至8.0×10-4Pa≤40min;
设备升压率:≤0.8Pa/h;
设备保压:停泵12小时候后,设备真空度≤10Pa;
极限真空:空载优于5.0×10-5Pa(设备空载抽真空24小时);
抽速:空载从大气抽至5.0×10-4Pa≤40min;
漏率:设备升压率≤0.8Pa/h;
极限真空:空载优于6.0×10-5Pa(设备空载抽真空24小时);
抽速:空载从大气抽至6.0×10-4Pa≤30min;
漏率:设备升压率≤0.8Pa/h;
控制方式:PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统;
真空炉体:Φ350×L550mm(内净尺寸),不锈钢双层水冷结构;
工件加热温度:采用内置钼加热器及多层不锈钢+钼桶热屏蔽层;
加热器材料:钼;
极限温度:≥1200℃;
温控精度:±3℃;
右电极:长度300mm;手动驱动推进电极前进,导轨导向;
控制方式:手动按钮控制方式;
真空腔室:Φ250mm×H350mm,304优质不锈钢真空腔室;
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183.136.225.* 中国浙江电信中心网络网友 jiajing 于2020-10-08 05:00:16发表评论:
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177.155.134.* 巴西网友 xlsi4813 于2021-01-24 00:10:31发表评论:
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66.249.65.* 美国Google网友 jianying2020 于2018-12-07 20:00:38发表评论:
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17.121.113.* 美国Apple网友 zhongfeng 于2020-10-09 22:13:07发表评论:
爱你在心口难开,喜欢你没道理。
66.249.65.* 美国Google网友 qgvetcl1280 于2019-12-05 02:54:54发表评论:
界面不错。
216.244.66.* 美国加利福尼亚州洛杉矶Wowrack科技公司网友 szzrw 于2020-03-15 01:42:02发表评论:
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111.7.100.* 中国河南驻马店市移动网友 cfgmc5105 于2021-06-11 08:01:42发表评论:
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216.244.66.* 美国加利福尼亚州洛杉矶Wowrack科技公司网友 citywallgarrison 于2020-04-12 23:09:55发表评论:
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66.246.224.* 美国新泽西州莫里斯县汉诺威镇雪松丘地区NetAccess公司网友 edward8 于2021-05-13 20:29:44发表评论:
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157.55.39.* 美国Microsoft公司网友 haikeli 于2019-04-03 11:09:59发表评论:
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213.180.203.* 俄罗斯Yandex网友 hscc5131 于2021-01-08 05:59:14发表评论:
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114.119.134.* 新加坡华为云网友 hxjdkj 于2021-01-26 10:07:11发表评论:
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23.81.27.* 美国亚利桑那州马里科帕县菲尼克斯市Nobis技术集团有限公司网友 lbccl2483 于2021-08-03 19:20:58发表评论:
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124.126.78.* 中国北京中国电信北京研究院网友 ntenpu 于2019-10-17 16:27:35发表评论:
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79.143.63.* 奥地利网友 yuhang 于2021-04-09 19:13:55发表评论:
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45.199.92.* 美国加利福尼亚州圣何塞MULTACOM机房网友 hjpmcl9852 于2020-11-23 01:41:10发表评论:
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114.119.133.* 新加坡华为云网友 njsaifunidianqi 于2021-01-27 18:09:51发表评论:
我真的很喜欢这个站
114.119.139.* 新加坡华为云网友 huaanyaiong 于2020-09-02 20:10:18发表评论:
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211.249.246.* 韩国网友 cqmh888 于2019-05-16 16:59:12发表评论:
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66.249.74.* 美国Google网友 jsbskl 于2019-01-09 14:05:46发表评论:
还行吧,综合来说不错